導讀：陀螺儀是一種測量一個物體圍繞某個中心旋轉(zhuǎn)軸的角速度的裝置。傳統(tǒng)的陀螺儀體積龐大、昂貴，且不可靠。MEMS技術具有成批生產(chǎn)、體積小、價格低的優(yōu)勢。MEMS的原理你清楚嗎，本文將幫助你深入認識MEMS陀螺儀。
想象下你坐在一個以恒定轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)著的旋轉(zhuǎn)木馬上：你站在它的中心，開始以一個恒定的速度沿著一條直線行走，這條直線是以放射狀畫在地板上，從中心指向外沿（圖1）。你會感覺到什么力量？這一問題的答案會有助于解釋MEMS陀螺儀的工作原理。
如今，1817年發(fā)明的陀螺儀在車輛控制、航空、航天、導航、機器人及軍事領域都得到了應用。MEMS陀螺儀也推動了在消費電子產(chǎn)品當中的應用，例如：在固定相機中的應用和交互式視頻游戲中的應用。許多智能手機的應用程序也都充分利用了MEMS陀螺儀的功能。
工程師們知道，日常活動中的主導力是物理接觸力，例如：摩擦力，以及在一定距離上作用的力——電磁力和重力。然而什么是慣性力、離心力，以及以科里奧利（Gaspard-Gustave Coriolis）命名的科里奧利力？它們不是真正的力嗎？答案：不是。
陀螺儀是一種測量一個物體圍繞某個中心旋轉(zhuǎn)軸的角速度的裝置。傳統(tǒng)的陀螺儀體積龐大、昂貴，且不可靠。MEMS技術具有成批生產(chǎn)、體積小、價格低的優(yōu)勢。幾乎所有的MEMS陀螺儀都采用振動機械元件，這些元件受驅(qū)動在芯片平面上振蕩，并響應相同平面上的其他振蕩動作而旋轉(zhuǎn)。MEMS陀螺儀的主要原理是通過科里奧利加速度，在驅(qū)動模式和檢測模式之間轉(zhuǎn)移能量。對科里奧利力的基本理解使得這一激動人心的技術得到了發(fā)展。
圖1 實際情況，我們會感受到什么力
圖2 運動中絕對速度的改變：如果我們知道絕對加速度，就知道了我們將感受到的力
