2) 紅外解決方案:應(yīng)用于MEMS領(lǐng)域,可以通過測量數(shù)據(jù)分析,修改工藝,輔助提升生產(chǎn)良率。代表設(shè)備為IRIS2100,IRIS8200。
3) 宏觀缺陷檢測方案:提供在光刻階段的晶圓全檢需求,代表設(shè)備為MT1000。
4) 定制方案:可提供市面上目前還沒有可用設(shè)備的檢測和測量需求定制,比如,全自動的檢測設(shè)備,定制的搬運(yùn)系統(tǒng)。
2019年科磊半導(dǎo)體(KLA)在全球范圍內(nèi)的光學(xué)檢測設(shè)備上占比超過50%,其余市場則多由美國、日本、以色列以及一些歐洲國家的廠商占據(jù)。國內(nèi)在該領(lǐng)域起步較晚。2014年,與中科院微電子研究所深入合作的中科飛測成立,國內(nèi)光學(xué)檢測設(shè)備領(lǐng)域逐漸發(fā)展起來。
據(jù)了解,MueTec的產(chǎn)品與國內(nèi)同行中科飛測對比,在設(shè)備穩(wěn)定性、壽命等指標(biāo)上更突出,且在國外市場有更高的認(rèn)可度,不過售價更高、開發(fā)周期長;而跟國際同行以色列光學(xué)檢測設(shè)備公司CamTek對比,MueTec有更廣的產(chǎn)品線,以及獨(dú)立的2D測量和膜厚測量。
在基于行業(yè)、產(chǎn)品以及技術(shù)等多維度考量下,天準(zhǔn)科技收購MueTec100%股權(quán)的交易價格定在了1818萬歐元,是MueTec2019年凈資產(chǎn)的2.50倍、2020年預(yù)計(jì)EBITDA的10.26倍。
收購MueTec,天準(zhǔn)科技面臨的巨大行業(yè)機(jī)遇
天準(zhǔn)科技是2019年首批成功登陸科創(chuàng)板的公司之一。其成立于2009年,主要基于機(jī)器視覺技術(shù),研發(fā)生產(chǎn)工業(yè)視覺裝備。公司的產(chǎn)品包括精密測量儀器、智能檢測設(shè)備、智能制造系統(tǒng)、無人物流車,并提供智能檢測裝備和智能制造系統(tǒng)相關(guān)的軟件服務(wù)。現(xiàn)階段,公司的客戶群集中在消費(fèi)電子、汽車制造、光伏半導(dǎo)體、倉儲物流行業(yè),大客戶包括蘋果、三星、富士康、欣旺達(dá)、德賽集團(tuán)、博士集團(tuán)、法雷奧集團(tuán)、菜鳥物流等。
隨著在消費(fèi)電子、汽車等領(lǐng)域的行業(yè)地位逐漸穩(wěn)固,天準(zhǔn)科技亟需找到新的業(yè)績增長點(diǎn)。而天準(zhǔn)科技之所以能將3D視覺檢測技術(shù)率先在消費(fèi)電子、汽車制造等領(lǐng)域落地,離不開這些領(lǐng)域的共同特點(diǎn):客戶對價格的不敏感,但對設(shè)備精度、準(zhǔn)確度等要求高;同時,大客戶集中,客單價往往達(dá)百萬級。此次被收購標(biāo)的MueTec所在的半導(dǎo)體檢測設(shè)備領(lǐng)域毫無疑問符合相應(yīng)條件。
其實(shí)在收購MueTec之前,天準(zhǔn)科技已經(jīng)在著手研發(fā)半導(dǎo)體檢測設(shè)備,對于MueTec的收購將加快公司在半導(dǎo)體晶圓檢測設(shè)備上的布局。
2020上半年天準(zhǔn)科技半導(dǎo)體相關(guān)在研項(xiàng)目情況(萬元)
迄今為止,MueTec累計(jì)設(shè)備出貨量已達(dá)數(shù)百臺。其在技術(shù)、產(chǎn)品以及市場等多個環(huán)節(jié)已形成較成熟的經(jīng)驗(yàn),將幫助天準(zhǔn)科技快速具備服務(wù)國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的能力。
在當(dāng)前國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備自主化發(fā)展的大趨勢下,此次并購對于兩者都意味著廣闊的市場前景。一般來說,半導(dǎo)體制造設(shè)備支出占半導(dǎo)體設(shè)備總支出的80%左右,MueTec所在的前道半導(dǎo)體檢測設(shè)備約占半導(dǎo)體制造設(shè)備的13%。全球市場上,前道檢測設(shè)備2018年的市場規(guī)模約為58億美元。根據(jù)SEMI曾預(yù)測的2020、2021年國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備總支出分別為173億、166億美元,得以估算2020、2021年國內(nèi)前道檢測設(shè)備的市場需求約為18億、17.3億美元。而每臺晶圓檢測設(shè)備普遍在百萬美金以上的售價,也為設(shè)備廠商創(chuàng)造了更高的收入天花板。
芯片是“國之重器”,但當(dāng)下我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)多個環(huán)節(jié)的國產(chǎn)化程度普遍偏低。尤其是設(shè)備、材料、EDA軟件工具在內(nèi)的多個上游環(huán)節(jié),短期內(nèi)難以實(shí)現(xiàn)自主發(fā)展。不過,正是由于現(xiàn)狀與需求的不匹配,價值創(chuàng)造的機(jī)會正在顯現(xiàn)。有理由相信,在需求的高增長驅(qū)動下,類似天準(zhǔn)科技收購MueTec的案例可能再度發(fā)生。而隨著各類資源的不斷投入,我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)自主可控的進(jìn)程也有望加快。