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無塵室電纜集塵問題研究

發(fā)布時間:2010-06-21

中心議題:
  • 電纜集塵問題測試設(shè)計
  • 電纜集塵問題對比結(jié)果
解決方案:
  • 采用高柔性扁平電纜減少集塵
  • 電纜采用扁平結(jié)構(gòu)均勻分布

對于潔凈室環(huán)境來說,電纜拖鏈中的電纜集塵是一個復雜的問題。為了盡量減少集塵,需要盡可能地避免電纜以及套管之間的摩擦。盡管通過減少運動器件可以減少集塵,但是自動生產(chǎn)線上電纜的運動不可避免。另外,用于分隔圓形電纜和套管的分隔片和支架是產(chǎn)生集塵的另一個因素。如果不使用分隔片,或者分隔片沒有正確的安裝,電纜以及套管之間的摩擦將導致這些部件的蠕變、移動或扭曲,這樣就會增加集塵。

為了獲得能運行上千萬次壽命的低集塵電纜系統(tǒng),系統(tǒng)設(shè)計工程師應(yīng)盡可能減少運動器件的數(shù)量,以及這些零件之間的摩擦。電纜拖鏈制造商會提供詳盡的正確安裝和使用電纜的指南,它決定了你的電纜系統(tǒng)潔凈度。然而,用在潔凈室環(huán)境的電纜和電纜拖鏈應(yīng)該經(jīng)過測試確定電纜材料的集塵特性,以及電纜在整個系統(tǒng)的相互作用問題。

測試設(shè)計

為了鑒別集塵是由電纜還是電纜拖鏈造成的,將相同的扁平電纜放在同一廠家生產(chǎn)的兩種不同的電纜拖鏈中進行了測試。在測試中,選擇了兩種非金屬電纜拖鏈:一種是低振動,無噪音的清潔型電纜拖鏈(拖鏈A),一種是帶有鏈環(huán)和銷的傳統(tǒng)拖鏈(拖鏈B)。除了測試了Gore無拖鏈電纜(TK31540-01),還對三種電纜拖鏈組合作了評估:

--電纜拖鏈A,安裝2根戈爾高柔性扁平電纜,一根電纜疊放在另一根上面
--電纜拖鏈B,安裝2根戈爾高柔性扁平電纜,一根電纜疊放在另一根上面
--電纜拖鏈A,安裝2根圓形電纜,一根電纜放在另一根旁邊,無分隔器。為了使對電纜的摩擦最小,設(shè)計了具有足夠空間的拖鏈使這兩條圓形電纜之間不會彼此接觸。

每個電纜拖鏈垂直放置,與潔凈室的空氣流動方向相對應(yīng),以確保產(chǎn)生的所有微粒都被記錄下來。先確定最有可能產(chǎn)生集塵的電纜拖鏈的關(guān)鍵地方,光學微粒記數(shù)器放置在每根電纜的這些區(qū)域的三個位置(見圖1)。每個記數(shù)器會記錄0.1至5.0微米大小的微粒。在每個測量點對產(chǎn)生的懸浮微粒作100分鐘記錄,每根電纜分別在運行速度0.5米/秒、1.0米/秒、2.0米/秒作測試。

然后使用數(shù)學方法按微粒尺寸(0.1、0.2、0.3、0.5、1.0和5.0微米)計算每個測量點的最大數(shù),按照GuidelineVDI2083Part9.1標準確定集塵數(shù)量。為了能測定每個電纜拖鏈系統(tǒng)的運行實效,弗勞恩霍夫研究所使用這些結(jié)果來確定最高集塵量的測量點。運行實效被用來確定ISO潔凈度認證的等級。


圖1.光學微粒記數(shù)器放置在每根電纜最有可能產(chǎn)生集塵的三個位置
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結(jié)果

光學微粒記數(shù)器記錄了無拖鏈電纜(見表1)和裝有高柔性扁平電纜的電纜拖鏈A在每個測量點產(chǎn)生0個微粒(見表2)。按照VDIGuideline2083和ISO14644-1標準的集塵可能性的計算方法,測定這些電纜在上述測試速度的集塵可能性低于0.1%。



表2.裝有高柔性扁平電纜的電纜拖鏈A在每個測量點產(chǎn)生0個微粒

安裝圓形電纜的拖鏈A在不同運行速度都產(chǎn)生了不同數(shù)量的微粒(見表3)。按照VDIGuideline2083和ISO14644-1標準,鑒定這種電纜拖鏈/電纜裝置產(chǎn)生集塵的可能性是3%。


安裝高柔性扁平電纜的拖鏈B在不同運行速度下也產(chǎn)生了不同數(shù)量的微粒(見表4)。按照VDIGuideline2083和ISO14644-1標準,鑒定這種電纜拖鏈裝置產(chǎn)生集塵的可能性是3%。


當運行行程不超過1.5米時,這些電纜不需要電纜拖鏈、分隔器和支架,所以這些電纜能非常可靠地應(yīng)用在1級潔凈室。通過測試安裝在兩種不同電纜拖鏈的高柔性扁平電纜表明,集塵是由電纜拖鏈造成的。高柔性扁平電纜在拖鏈往返彎折運動的集塵量是最低的。除了不需要電纜拖鏈里的分隔器和支架外,電纜的扁平結(jié)構(gòu)均勻分布對電纜護套的作用力,這樣就減少了對電纜護套的磨損,以及由于運動引起的摩擦。通過將所有電纜、軟管和光纖結(jié)構(gòu)都放置在高柔性扁平電纜內(nèi),就可使用更小更輕的電纜拖鏈。

在使用帶拖鏈的圓形電纜系統(tǒng)時,為使集塵產(chǎn)生量最少,僅測試了使用無分隔器和支架、低振動的清潔型電纜拖鏈。由于集塵量取決于運行速度,這種電纜系統(tǒng)能應(yīng)用于ISO14644-1標準的4級潔凈室。然而,這種設(shè)計不能準確反映實際使用中的電纜拖鏈的集塵情況,因為實際使用中電纜拖鏈內(nèi)塞滿了電纜、套管、分隔器和支架,這就增加了摩擦和集塵量。
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